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半導體（ semiconductor），指常溫下導電性能介于導體（conductor）與絕緣體（insulator）之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上最具有影響力的一種。
半導體材料生產(chǎn)過程中污染氣體的主要成分為：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。
乙方對此項目的廢氣進行凈化處理，包括廢氣處理方案、設計、施工及安裝調(diào)試。
污染氣體的主要成分為：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。
一氧化氮 (NO)為無色氣體，分子量30.01，熔點-163.6℃，沸點-151.5℃，蒸氣壓101.3lkPa(-151.7℃)。溶于乙醇、二硫化碳，微溶于水和硫酸，水中溶解度4.7% (20℃)。性質(zhì)不穩(wěn)定，在空氣中易氧化成二氧化氮 (2NO+O2→2NO2)。一氧化氮結合血紅蛋白的能力比一氧化碳還強，更容易造成人體缺氧。不過，人們也發(fā)現(xiàn)了它在生物學方面的獨特作用。一氧化氮分子作為一種傳遞神經(jīng)信息的信使分子 ，在使血管擴張，免疫，增強記憶力等方面有著及其重要的作用。
二氧化氮 (NO2)在21.1℃溫度時為紅棕色刺鼻氣體;在21.1℃以下時呈暗褐色液體。在-ll℃以下溫度時為無色固體，加壓液體為四氧化二氮。分子量46.01，熔點-11.2℃，沸點 21.2℃，蒸氣壓101.3lkPa(2l℃)，溶于堿、二硫化碳和氯仿，微溶于水。性質(zhì)較穩(wěn)定。二氧化氮溶于水時生成硝酸和一氧化氮。工業(yè)上利用這一原理制取硝酸。二氧化氮能使多種織物褪色，損壞多種織物和尼龍制品，對金屬和非金屬材料也有腐蝕作用。
HF是由氟元素與氫元素組成的二元化合物，它是無色有刺激性氣味的氣體 ，是一種一元弱酸。氟化氫的水溶液稱作氫氟酸。氟化氫及其水溶液均有毒性，容易使骨骼、牙齒畸形，氫氟酸可以透過皮膚被黏膜、呼吸道及腸胃道吸收。
氮氧化物可刺激肺部，使人較難抵抗感冒之類的呼吸系統(tǒng)疾病，呼吸系統(tǒng)有問題的人士如哮喘病患者，會較易受二氧化氮影響。對兒童來說，氮氧化物可能會造成肺部發(fā)育受損。研究指出長期吸入氮氧化物可能會導致肺部構造改變，但仍未可確定導致這種后果的氮氧化物含量及吸入氣體時間。
以一氧化氮和二氧化氮為主的氮氧化物是形成光化學煙霧和酸雨的一個重要原因.汽車尾氣中的氮氧化物與碳氫化合物經(jīng)紫外線照射發(fā)生反應形成的有毒煙霧,稱為光化學煙霧.光化學煙霧具有特殊氣味,刺激眼睛,傷害植物,并能使大氣能見度降低.另外,氮氧化物與空氣中的水反應生成的硝酸和亞硝酸是酸雨的成分.大氣中的氮氧化物主要源于化石燃料的燃燒和植物體的焚燒,以及農(nóng)田土壤和動物排泄物中含氮化合物的轉(zhuǎn)化.
江蘇龍?zhí)?/a>環(huán)保處理半導體材料氮氧化物酸洗廢氣工藝如下：
NOx廢氣的治理方法大致可以分為燃燒控制技術、爐內(nèi)噴射吸收劑以及煙氣脫硝技術等，按脫硝裝置所處位置可分為生產(chǎn)過程中控制和過程后處理。工業(yè)廢氣中NOx的脫除技術一般采用過程后處理，又可分為干法和濕法兩大類。 干法包括催化還原法、催化分解法、吸附法等。濕法包括堿吸收、還原吸收、氧化吸收和絡合吸收等。與干法相比，濕法具有工藝設備簡單、操作費用低廉、吸收劑種類多、適應性強等優(yōu)點。從吸收液的成本考慮，可采用堿液吸收，其產(chǎn)生副產(chǎn)物NaNO2和NaNO3可以回收利用。
堿液吸收法：堿性溶液指的是鈉、鉀、鎂等離子的氫氧化物或弱酸鹽溶液。堿液吸收法不但可將NOx去除，所得亞硝酸鹽產(chǎn)物還可用作防腐劑、防凍劑等，具有一定的市場價值。
KOH吸收液雖然反應活性相對值較高，因其價高貨源少，所以使用的較少，實際廣泛使用的吸收劑主要是NaOH 和Na2CO3。
采用Na2CO3吸收NOx的效果不如NaOH，原因是Na2CO3的濃度降至1.5-5%時，吸收效果急劇下降，而NaOH則無此效應，另外Na2CO3吸收時產(chǎn)生的CO2將降低NOx在溶液中的溶解度。因此堿液中使用最多的是NaOH。
由于本項目廢氣處理量較大，且濃度較高，結合甲方要求，本項目采用三級噴淋填料塔對廢氣進行處理，每個塔采用二級噴淋，循環(huán)噴淋溶液均為NaOH和Na2S的混合液。
其中一級塔NaOH濃度控制在4%-8%左右（主要是為了去除廢氣中的硝酸、氫氟酸），Na2S濃度控制在2%左右，二級塔NaOH濃度控制在2%左右，Na2S濃度控制在2%左右，三級塔NaOH濃度控制在2%左右，Na2S濃度控制在2%左右。
具體配堿濃度還要依據(jù)實際運行情況不斷調(diào)整以到達最優(yōu)運行條件，液氣比越大，空塔速度越低，凈化效率就越高。
廢氣經(jīng)管道收集后進入廢氣處理系統(tǒng)，廢氣經(jīng)管道進入一級噴淋填料塔進行處理，其主要作用是利用堿性溶液吸收HF酸性氣體、硝酸氣體和部分NO2氣體，其中Na2S起到還原作用，提高脫氮效率，之后廢氣再經(jīng)過二、三級噴淋填料塔處理，之后廢氣通過風機、排氣筒達標排放。此工藝不僅處理效率高，能高效去除污染物，而且運行維護費用低。
